1996年11月,宝岛新竹,宝积电总部,董事长办公室。

一张巨大的、用整块楠木雕琢而成的办公桌后,坐着宝积电的创始人兼董事长,张东谋。

他身材并不高大,但腰杆挺得笔直,目光沉静而锐利,仿佛能洞穿一切表象,直抵事物本质。

他面前放着一份薄薄的,由林本艰亲自撰写的绝密报告,标题是:《关于“浸没式光刻”技术路线潜在影响,及本公司应对策略的初步评估》。

办公室里很安静,只有墙上老式挂钟发出的、规律的“滴答”声。

张东谋已经沉默了将近十分钟,手指轻轻敲击着桌面,目光深邃,看不出喜怒。

林本艰坐在办公桌对面的沙发上,身体微微前倾,等待着董事长的决断。

他已经将自己所知的一切,包括ASML的示好与担忧,那批神秘专利的存在,以及自己对该技术路线的研判,都毫无保留地汇报给了张东谋。

终于,张东谋缓缓放下报告,抬起头,目光落在林本艰脸上。

“本坚,你跟了我多久了?”张东谋问道。

“快十年了,董事长。”林本艰回答道。

“十年......”张忠谋微微颔首,目光有些悠远的说道:“十年前,我们刚成立的时候,全世界都觉得,一家宝岛的公司,想在半导体代工领域做出名堂,是痴人说梦。

但我们做到了。为什么?因为我们选对了路,并且在这条路上,做到了极致。”

“现在,又到了一个需要选择的路口。”

他站起身,走到窗前,望着窗外新竹科学园区的景象,缓缓说道:“ASML想跟我们联手,应对那个未知的对手。他们的担忧,是真的。

那批专利,如果真的如你分析的那样,布局严密、技术超前,那么,对于ASML,对于整个依赖传统干式光刻路线的产业生态来说,都是一个足以颠覆格局的变量。”

“但,本艰,你有没有想过另一个问题?”

林本艰微微一怔说道:“请董事长明示。”

张东谋转过身,目光如电:“那个提前数年布局浸没式光刻的未知对手,他为什么选择沉默?

为什么不早早公布技术,抢占市场制高点?而是躲在层层売公司背后,像影子一样,悄悄地筑墙?”

林本坚愣住了。他之前一直专注于技术本身和专利的威胁,却很少思考这背后的动机。

“两种可能。”张忠谋伸出两根手指娓娓道来的说道:“第一,他们的技术还不成熟,存在短期内无法克服的工程难题,所以选择先圈地,等待时机。

第二,他们很清楚,过早暴露自己,会成为众矢之的。他们在等,等自己的羽翼足够丰满,等自己的产业链足够完整,等一个......一击必杀的机会。

“如果是第一种,那ASML的焦虑,尚有时间缓冲。但如果是第二种......”张忠谋的眼神,变得异常深邃的说道。

“那这个对手的耐心和格局,就远非普通的科技公司可比。他们图的,恐怕不仅仅是光刻机,这一城一地的得失。

林本坚听得后背微微发凉。他发现自己之前的思考,确实过于局限在技术层面了。

“董事长,那我们......该如何选择?”林本艰问道。

张东谋没有立刻回答。他走回办公桌前,重新坐下,沉默了片刻。

“我们不急着选边站。”他缓缓说道:“第一,你继续与ASML保持接触,参与他们的浸没式光刻快速攻关计划。

我们需要掌握第一手的技术进展,和工程数据。”

“第二,动用我们的一切资源,给我查清楚,那批专利背后的影子,到底是什么来路。

我不需要知道具体是谁,但我需要知道,他们的根,在哪里。”

“第三,”张忠谋顿了顿,目光中闪过一丝不易察觉的精光:“你自己,也组建一支影子团队,基于你已经有的理论构想,独立开展浸没式光刻的原型验证。

我们不做则已,要做,就必须掌握核心技术,绝不能在未来被别人卡住脖子。”

林本坚心中一凛。董事长这步棋,走得极稳,也极深。表面上不拒绝与ASML合作,暗地里却留足了后手,甚至准备独立攻关。

这既是对冲风险,也是在为宝积电争取,未来谈判桌上最大的筹码。

“我明白了,董事长。”林本艰点了点头说道。

“去吧。”张忠谋摆了摆手,重新将目光投向窗外,声音平静,却带着一种不容置疑的力量。

“本艰,记住。在这场游戏里,没有永远的敌人,也没有永远的朋友。

只有永远的利益,和永远不能放手的,核心技术。”

林本坚躬身退出办公室。走廊里,灯光通明。他心中,却比来时,更加沉甸甸的。

他隐约感觉到,一场席卷全球半导体产业的暗流,正在加速涌动。

而他,以及宝积电,已经被卷入其中,必须做出自己的选择。

1996年12月,魔都,“渊”基地。

深冬的魔都,湿冷刺骨。但“渊”基地的超精密加工车间里,却是一番热火朝天的景象。

恒温恒湿系统将温度精确控制在22摄氏度正负0.1度,与室外仿佛是两个世界。

秦卫国秦师傅已经连续在车间里待了三十六个小时。他布满血丝的双眼,死死盯着一台正在运行的,大型五轴联动超精密金刚石车床。

车床的主轴以每分钟八千转的速度高速旋转,带着一丝几乎听不见的,如同蚕丝断裂般的高频嘶鸣。

刀具前端,一颗经过特殊研磨、价值数万美元的单晶金刚石刀具,正在以纳米级的切削深度,缓慢而精确地剥离着,一个碗状光学镜坯表面的材料。

这是浸没式光刻机投影物镜系统中,最核心、也最难以加工的部件之一,末端大曲率非球面透镜。

它的曲面精度,直接决定了光线经过浸没液体后,能否被准确地聚焦在晶圓表面。

要求的公差,是不可思议的/20,约10纳米。

这个精度,相当于用一把锋利的刀,在一根头发的横截面上,刻出一幅清明上河图。

秦师傅的徒弟,一个同样沉默寡言,但眼神专注的年轻人,正守在另一台测量仪器旁,每隔一段时间就报告一次加工误差数据。

师徒二人配合默契,几乎不需要言语交流,全凭多年磨合出的直觉和经验。

加工持续了整整四十个小时。当车床主轴终于缓缓停止转动,当那颗散发着柔和光泽、曲面完美如镜面的透镜毛坯,被小心翼翼地取下,送到三坐标测量仪上进行最终检测时,整个车间的人都屏住了呼吸。

检测结果出来了。面形误差:25。不仅达标,而且超越了设计要求!

车间里,爆发出一阵压抑已久的欢呼声。几个年轻工人甚至激动地互相打肩膀。

秦师傅摘下老花镜,揉了揉酸痛的眼睛,布满油污和疲惫的脸上,难得地露出了一丝笑容。

他没有说什么豪言壮语,只是走到检测台前,用粗糙的手指,轻轻抚摸着那块透镜毛坯光滑如镜的表面,仿佛在抚摸一件稀世珍宝。

“给谢总打电话。”他转头对徒弟说道,声音沙哑,却带着一股压抑不住的得意:“就说,眼睛,有了。”

几乎在同一时间,千里之外的京城,星火基地计算光刻联合实验室里,同样传来了一阵压抑不住的欢呼。

陈向东盯着屏幕上刚刚完成的,一次全芯片级别OPC,光学邻近效应修正仿真结果,紧握的拳头,指节因为用力而发白。

屏幕上,经过他们自主研发的朱雀算法修正后的电路图案,与设计目标之间的偏差,被控制在了令人满意的范围内。

虽然计算时间仍然长达数十个小时,但精度,已经初步达到了,可用于指导实际流片的门槛。

“立刻保存所有数据,备份三份!”陈向东的声音带着一丝不易察觉的颤抖说道:“通知刘总,告诉她,朱雀的翅膀,扇动了!”

从渊基地传来透镜加工成功的消息,到星火基地朱雀算法初步跑通,几乎在同一天抵达了谢建军的案头。

他站在办公室那幅巨大的世界地图前,目光没有停留在国内,那些越来越密集的天梭蓝色光点上,而是越过了太平洋,落在了荷兰埃因霍温那个小小的点上。

他身后,郑律师正在汇报最新的国际动态:“......ASML已经正式启动了浸没式光刻的快速攻关计划,代号Beachhead’(滩头阵地)。

他们从各部门抽调了最精锐的光学、流体力学和精密机械工程师,组成了一个超过两百人的秘密团队,由CTO直接领导。

据我们安插在欧洲专利情报网络的信息,他们的进展...………很快。”

“另外,宝积电那边,林本艰博士最近与ASML高层互动频繁。

有迹象表明,他可能已经向张东谋提交了,关于浸没式光刻的评估报告。

张忠谋的反应......目前还不明朗。但宝积电内部,似乎也在秘密组建一支相关的技术团队。”

谢建军静静地听着,脸上没有任何表情。这些消息,并没有出乎他的意料。

他提前数年布局的专利壁垒,就像一块投入平静湖面的巨石,虽然表面上看不到涟漪,但水下的暗流,已经开始疯狂涌动。

ASML的焦虑,宝积电的观望与试探,都在他的预料之中。

“郑老,我们那些壳公司持有的专利,没有暴露吧?”

“没有。”郑律师回答得很肯定:“每一层壳公司之间,都是通过不同法域的信托基金和代理人持股,法律关系清晰,资金流水经过多重洗白。

除非动用国家级的情报力量进行长期、深入的调查,否则,短期内不可能追溯到我们身上。”

“不过,”他顿了顿,补充道:“ASML和宝积电都不是等闲之辈。他们可能查不到未名-轩辕,但应该已经能判断出,这些专利背后,有国家力量的影子。

这个判断,本身就会让他们更加忌惮,也更加......疯狂。”

“疯狂就好。”谢建军的嘴角,泛起一丝几不可察的弧度:“就怕他们不疯。他们越疯,投入越大,就越舍不得放弃现有的技术路线。

等他们投入了海量的资源和时间,把浸没式这条路趟到一半的时候,我们再......”

他没有说完,但郑律师已经完全领会了他的意思。

到那时,手握核心专利和更成熟技术储备的未名-轩辕,将拥有绝对的议价权和主导权。

这,才是真正的螳螂捕蝉,黄雀在后。

“渊’基地那边的透镜,加工成功了。精度超过了设计要求。”谢建军转换话题,语气中带着一丝难得的暖意。

“秦师傅他们,辛苦了。告诉老刘,从这个月开始,‘渊’基地所有人员的薪酬和补贴,翻倍。

另外,以我个人名义,奖励秦师傅一套SH市区的房子。他那个老房子,我去过,太破了。”

郑律师微微动容。他跟随谢建军多年,深知这位老板对手下的技术人员,向来是用得狠,也给得足。

这种看似土气却极其实在的奖励方式,比任何空洞的口号,都更能凝聚人心。

“是,我会安排好。”

“还有,”谢建军走到窗前,望着窗外京城冬夜的万家灯火,声音变得有些悠远。

“通知刘欣和陈向东,让他们把手头的工作,做个阶段性总结。

明年春天,我要在“渊’基地,看到一台完整的、可以运行的浸没式光刻原型机。”

“留给我们的时间,不多了。”

“风暴,快来了。”

窗外,夜色深沉。遥远的荷兰埃因霍温,ASML总部的灯光,同样彻夜未熄。

一场围绕着一层薄薄的水膜,足以改变全球半导体产业格局的竞赛,正在两个相隔万里的国度之间,以前所未有的速度,悄然展开。

一方,是集结了全球顶尖人才和资源,拥有数十年技术积淀的西方光刻巨头。

另一方,是一群隐身于市井厂房之中,靠着残破图纸和过人天赋,在黑暗中摸索前行的龙国工匠与工程师。

鹿死谁手,尚未可知。

但潜龙,已然亮出了它淬炼已久的锋芒。